电子束刻蚀超导膜的实验研究
林世昌① ; 张燕生① ; 柴璋② ; 李碧钦②
① 中国科学院电子学研究所 北京 100080;② 中国科技大学研究生院 北京 100039
EXPERIMENTAL STUDIES OF ELECTRON BEAM SCULPTURE FOR SUPERCONDUCTING FILMS
Lin Shichang① ; Zhang Yansheng① ;Chai Zhang② ; Li Biqin②
① Institute of Electronics,Academia Sinica, Beijing 100080;② Graduate School of USTC,Beijing 100039
摘要 本文论述了扫描电子束对YBa2 Cu3 O7-δ 超导膜进行干法刻蚀的实验研究;试验了电子束工艺参数对刻蚀效果的影响;初步讨论了超导膜改性的机制。扫描电子束能使被刻蚀的超导膜局部改性为非超导膜,将为干法制备超导器件提供一个有效的方法。
关键词 ：
超导膜 ,
刻蚀 ,
材料改性 ,
扫描电子束
Abstract ：A dry sculpture experiment for YBa2 Cu3 O7-δ superconducting film using scanning electron beam is presented. The effects of beam technological parameters on sculpture result are tested. The modification mechanism for superconducting films is discussed prelimiarily.
Key words ：
Superconducting film
Suclpture
Material modification
Scanning electron beam
收稿日期: 1994-01-28
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