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电子与信息学报  1997, Vol. 19 Issue (5): 688-694     DOI:
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真空微电子器件的进展与问题
庄学曾; 夏善红; 刘光诒
中国科学院电子学研究所 北京 100080
A DISCUSSION ON SOME VACUUM MICROELECTRONIC DEVICES
Zhuang Xuezeng; Xia Shanhong; Liu Guangyi
Institute of Electronics Academia Sinica Beijing 100080

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