多能谱电子束能量分布的蒙特卡罗模拟和空间电荷效应

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摘要利用电子束穿越固体薄膜时,束电子与固体中的原子或电子之间的相互作用而产生能量改变,是获取多能谱电子束的一种方便可行的理想途径。通过改变薄膜材料或组份、薄膜厚度以及入射电子束的能量和方向等,可以得到各种不同能量分布的电子束。为了预测多能束的能量分布,我们采用蒙特卡罗模拟计算电子在固体中的散射效应。得到的透射系数和透射电子的能谱与实验测量结果一致。为计算多种能量电子共存空间的电位分布,我们对多能电子束在均匀电场或无场空间中的空间电荷效应进行了分析计算。

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	康念坎
	夏善红

关键词 ：多能谱电子束, 能量分析, 蒙特卡罗模拟, 空间电荷效应

Abstract：An approach to generate a multi-energy electron beam by transmitting a monoen-ergetic beam though a solid film is proposed. The energy (velocity) spectrum of the resultant beam is predicted by Monte Carlo simulation of electron scattering. The calculation accuracy is fairly good in comparison with available measurements. Space charge effect of a multi-energy electron beam in a uniform electrical field or field-free space has also been analyzed.

Key words： Multi-energy beam Energy spectrum Monte Carlo simulation Space charge effect

收稿日期: 1997-11-12

PACS:	O463.1
	O222

引用本文:

康念坎; 夏善红. 多能谱电子束能量分布的蒙特卡罗模拟和空间电荷效应[J]. 电子与信息学报, 1999, 21(4): 522-528 . Kang Niankan^①; Xia Shanhong^②. MONTE CARLO SIMULATION OF ENERGY SPECTRUM AND SPACE CHARGE EFFECT OF MULTI-ENERGY ELECTRON BEAMS. , 1999, 21(4): 522-528 .

链接本文:

http://jeit.ie.ac.cn/CN/ 或 http://jeit.ie.ac.cn/CN/Y1999/V21/I4/522