微波管栅发射问题的研究
王小霞① ;廖显恒① ;赵青兰① ;余晓军② ;张济忠②
① 中国科学院电子学研究所,北京,100080;② 清华大学材料与工程系,北京,100084
Study on grid emission of microwave power tubes
Wang Xiaoxia① ; Liao Xianheng① ; Zhao Qinglan① ; Yu Xiaojun② ; Zhang Jizhong②
① Institute of Electronics Chinese Acadimy of Sciences Beijing 100080 China;② Dept. of Materials Sci. and Eng.,Tsinghua University Beijing 100084 China
摘要 利用离子束辅助沉积技术在 Mo栅极上镀上并注入一层 Hf膜,对镀后的样品进行了形貌、结构、成份、膜厚及 Mo、Hf界面分析。将样品进行电子管模拟栅发射试验,栅极温度为 650℃,试验 1000h以上基本无栅发射电流,可以提高栅控管的可靠性和寿命。实验结果表明,阴极中的活性物质Ba蒸发到镀Hf的 Mo栅极表面,Ba,Hf和O2 能形成化合物,从而有效抑制栅极发射电流。
关键词 :
栅发射 ,
离子束辅助沉积 ,
化合物
Abstract :Hf film is coated on the surface of Mo-grids by vacuum ion beam aided deposition technology. The SEM, XRD and RBS analyses are performed on modified Mo-grids. Life-span tests of this modified Mo-grid are carried out by diode experiment. When the temperature of the modified Mo-grids is kept at 650 ℃, the modified Mo-grids’ electron emission can not be detected with microammeter after 1000h life-span. The experimental results show that after the grid is contaminated by electron emission substance Ba of the cathode Hf formed compounds restrain effectively electron emission of grid.
Key words :
Grid emission
Ion beam Aided deposition(IBAD)
Compounds
收稿日期: 2001-03-19
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