纳米电子系统中电容矩阵的数值模拟器
乐嘉勇; 蒋建飞; 蔡琪玉
上海交通大学微/纳米科学技术研究院,上海,200030
Numerical simulator of capacitance matrix for nano-electronic system
Le Jiayong; Jiang Jianfei; Cai Qiyu
Res. Inst. of Micro/Nano Sci. & Tech.,Shanghai Jiaotong Univ., Shanghai 200030 China
摘要 该文论述了纳米电子系统电容矩阵数值模拟器SJTU-NANO-FCACI的原理和应用,分析了其算法,并研究了在纳米电子系统中常见的球形导体的电容。结果表明,该模拟器具有精度高、速度快、应用广泛等特性。
关键词 :
电容矩阵 ,
多极点展开 ,
局部展开
Abstract :The principle and application of numerical simulator of capacitance matrix for nano-electronic system called SJTU-NANO-FCACI is studied.-The algorithm of the program is analyzed. With the program, the capacitances of spherical capacitor, which are often used in nano-electronics, are calculated and compared with the approximate formula. The results demonstrate that the program has a high calculation precision, a fast calculation speed and can be used in many applications.
Key words :
Capacitance matrix
Multipole expansion
Local expansion
收稿日期: 2001-03-16
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